|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
XXV Международный симпозиум "Нанофизика и наноэлектроника", Нижний Новгород, 9-12 марта 2021 г.
Особенности структурных напряжений в нитевидных нанокристаллах InGaN/GaN
И. П. Сошниковabc, К. П. Котлярad, Р. Р. Резникe, В. О. Гридчинad, В. В. Лендяшоваab, А. В. Вершининa, В. В. Лысакe, Д. А. Кириленкоb, Н. А. Бертb, Г. Э. Цырлинabc a Санкт-Петербургский национальный исследовательский академический университет имени Ж. И. Алфёрова
Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Институт аналитического приборостроения РАН, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский государственный университет
e Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Представлено экспериментальное исследование, направленное на развитие метода спонтанного синтеза нитевидных нанокристаллов InGaN/GaN радиальной гетероструктуры при молекулярно-пучковой эпитаксии. Методами электронной микроскопии показано, что при содержании In $x$ = 0.4 и 0.04 в ядре и оболочке и размерах ядра может образоваться клиновидная трещина. На основе модели внутренних структурных напряжений предложена формула, позволяющая оценить критические размеры и состав для образования трещин в нитевидных нанокристаллах. Сопоставление оценок и экспериментальных данных морфологии дает хорошее согласие между собой.
Ключевые слова:
нитевидные нанокристаллы, молекулярно-пучковая эпитаксия, осевые гетероструктуры, напряженные гетероструктуры, нитрид индия, нитрид галлия.
Поступила в редакцию: 12.04.2021 Исправленный вариант: 19.04.2021 Принята в печать: 19.04.2021
Образец цитирования:
И. П. Сошников, К. П. Котляр, Р. Р. Резник, В. О. Гридчин, В. В. Лендяшова, А. В. Вершинин, В. В. Лысак, Д. А. Кириленко, Н. А. Берт, Г. Э. Цырлин, “Особенности структурных напряжений в нитевидных нанокристаллах InGaN/GaN”, Физика и техника полупроводников, 55:9 (2021), 785–788; Semiconductors, 55:10 (2021), 795–798
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts4983 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i9/p785
|
|