Структурные и газочувствительные характеристики тонких полупроводниковых пленок PdO различной толщины при детектировании озона

Пленки PdO были получены методом термического напыления металлического палладия толщиной 30 и 90 нм с последующим его окислением на воздухе при различных температурах. Оксидные пленки PdO охарактеризованы методами просвечивающей электронной микроскопии и дифракции быстрых электронов. Получены данные о полупроводниковых свойствах и газовой чувствительности к различным концентрациям озона в воздухе. Установлены оптимальные температурные условия окисления пленок, которые обеспечивают их однородный фазовый состав и отсутствие электрических шумов при детектировании газов. Предложен и обоснован механизм появления электрических шумов в ультратонких пленках, связанный с их фрагментированием в процессе окислительного отжига. Показана возможность детектирования полупроводниковыми пленками PdO примесей озона в воздухе ниже предельно допустимой концентрации.