|
Поверхность, границы раздела, тонкие пленки
Структурные и фотоэлектрические свойства тонких пленок оксида цинка на подложке танталата лития
Л. В. Григорьевab, А. А. Семеновa, А. В. Михайловc a Санкт-Петербургский государственный университет
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ»
c Всероссийский научный центр
"Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова", г. Санкт-Петербург
Аннотация:
Представлены результаты исследования структурных и фотоэлектрических свойств тонкопленочной структуры ZnО-LiTaO$_{3}$. Приведены результаты рентгеноструктурного анализа и данных атомно-силовой микроскопии для пленок оксида цинка, синтезированных на подложке из монокристаллического танталата лития и на подложке из полированного кварца КУ-1. Приведена спектральная зависимость фотоэлектрического тока тонкопленочной структуры ZnО-LiTaO$_{3}$ и структуры ZnO-кварц в ультрафиолетовом и видимом диапазонах спектра. Представлены результаты восстановления методом регуляризации Тихонова-Лаврентьева энергетического спектра оптически активных дефектов, присутствующих в структуре ZnО-LiTaO$_{3}$.
Ключевые слова:
тонкие пленки, оксид цинка, лазерная абляция, сегнетоэлектрические материалы, фотопроводимость, рентгеноструктурный анализ, атомно-силовая микроскопия, регуляризация Тихонова–Лаврентьева.
Поступила в редакцию: 27.07.2021 Исправленный вариант: 02.08.2021 Принята в печать: 02.08.2021
Образец цитирования:
Л. В. Григорьев, А. А. Семенов, А. В. Михайлов, “Структурные и фотоэлектрические свойства тонких пленок оксида цинка на подложке танталата лития”, Физика и техника полупроводников, 55:12 (2021), 1180–1185
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts4914 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v55/i12/p1180
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 105 | PDF полного текста: | 85 |
|