|
Физика и техника полупроводников, 1989, том 23, выпуск 7, страницы 1173–1176
(Mi phts3430)
|
|
|
|
О влиянии ядерного легирования на радиационное дефектообразование
в $\text{Si}\langle\text{Ge}\rangle$
А. В. Воеводова, Ф. П. Коршунов, Н. А. Соболев, А. А. Стук
Аннотация:
Исследована излучательная рекомбинация (ИР) на
дефектах структуры в исходном и ядерно легированном (ЯЛ)
Si$\langle\text{Ge}\rangle$,
создаваемых электронным облучением и последующим отжигом. Обнаружен ряд новых центров ИР, предположительно включающих
в свой состав атомы Ge. Различия в спектрах ИР исходных и ЯЛ образцов
интерпретируются как результат внутреннего геттерирования
примесей в процессе ЯЛ.
Образец цитирования:
А. В. Воеводова, Ф. П. Коршунов, Н. А. Соболев, А. А. Стук, “О влиянии ядерного легирования на радиационное дефектообразование
в $\text{Si}\langle\text{Ge}\rangle$”, Физика и техника полупроводников, 23:7 (1989), 1173–1176
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts3430 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v23/i7/p1173
|
|