|
Физика и техника полупроводников, 1984, том 18, выпуск 8, страницы 1438–1445
(Mi phts1890)
|
|
|
|
Электрофизические характеристики метастабильных твердых растворов
(Ge$_{2}$)$_{x}$(GaAs)$_{1-x}$ и влияние на них термообработки
Р. С. Вартанян, А. Г. Машевский, М. А. Синицын, В. П. Улин, Б. С. Явич, А. А. Яковенко
Аннотация:
Исследовано влияние изохронного кратковременного
отжига с закалкой на электрические характеристики метастабильных твердых
растворов (Ge$_{2}$)$_{x}$(GaAs)$_{1-x}$. В ограниченной области составов при отжиге твердых растворов получена
конверсия $n$-типа проводимости в $p$-тип и $p$-типа в
$n$-тип. Это связывается с перераспределением Ge между катионной
и анионной подрешетками (${n\to p}$) с отжигом антиструктурных дефектов
Ga$_{\text{As}}$ (${p\to n}$). Рассчитана концентрация донорных и акцепторных атомов в зависимости
от состава (Ge$_{2}$)$_{x}$(GaAs)$_{1-x}$ и оценена величина параметра
ближнего порядка твердых растворов для нескольких температур выращивания.
Образец цитирования:
Р. С. Вартанян, А. Г. Машевский, М. А. Синицын, В. П. Улин, Б. С. Явич, А. А. Яковенко, “Электрофизические характеристики метастабильных твердых растворов
(Ge$_{2}$)$_{x}$(GaAs)$_{1-x}$ и влияние на них термообработки”, Физика и техника полупроводников, 18:8 (1984), 1438–1445
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/phts1890 https://www.mathnet.ru/rus/phts/v18/i8/p1438
|
|