|
Проблемы физики, математики и техники, 2011, выпуск 2(7), страницы 31–37
(Mi pfmt99)
|
|
|
|
ФИЗИКА
Моделирование физико-технологических процессов в приповерхностном слое, при формировании микро и наноструктур электродинамическими воздействиями
А. П. Достанко, Н. Н. Гринчик, И. Н. Спресов Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск
Аннотация:
Предложена модель процесса формирования микро- и наноструктур. Описаны и обоснованы физико-технологические процессы при воздействии электромагнитных сил и их применение в различных областях современной науки и техники. На основании математической модели исследованы различные формы и параметры материалов в процессе воздействия.
Ключевые слова:
формирование тонкопленочных структур, электромагнитное воздействие плазмы.
Поступила в редакцию: 19.04.2011
Образец цитирования:
А. П. Достанко, Н. Н. Гринчик, И. Н. Спресов, “Моделирование физико-технологических процессов в приповерхностном слое, при формировании микро и наноструктур электродинамическими воздействиями”, ПФМТ, 2011, № 2(7), 31–37
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt99 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2011/i2/p31
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 133 | PDF полного текста: | 62 | Список литературы: | 30 |
|