Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Проблемы физики, математики и техники, 2023, выпуск 3(56), страницы 64–68
DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2023_3_56_64 (Mi pfmt920) 		 
ТЕХНИКА

Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния

А. Н. Купоa, В. В. Емельяновb, В. А. Емельяновc

a Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины
b Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск
c ОАО «Интеграл», Минск
PDF полного текста (343 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2023_3_56_64
Аннотация: Проведено математическое моделирование взаимодействия излучения ближнего инфракрасного (ИК) диапазона с покрытием диоксида кремния при длительности импульса $\tau = 0,05$–$0,5$ секунды и экспозиции $E = 0,1$–$1,0$ Дж/см$^2$. Дана оценка снижения скорости плазмохимического травления (ПХТ) SiO$_2$ покрытия за счёт повышения средней энергии связи в кристаллической решётке вследствие термической модификации фазового состава указанного покрытия.
Ключевые слова: плазмохимическое травление, диоксид кремния, инфракрасное излучение, математическое моделирование.
Поступила в редакцию: 16.08.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.382
Образец цитирования: А. Н. Купо, В. В. Емельянов, В. А. Емельянов, “Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния”, ПФМТ, 2023, № 3(56), 64–68
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KupEmeEme23}
\by А.~Н.~Купо, В.~В.~Емельянов, В.~А.~Емельянов
\paper Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния
\jour ПФМТ
\yr 2023
\issue 3(56)
\pages 64--68
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt920}
\crossref{https://doi.org/10.54341/20778708_2023_3_56_64}
\edn{https://elibrary.ru/RUIKVY}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt920
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2023/i3/p64
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Проблемы физики, математики и техники
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024