Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Проблемы физики, математики и техники, 2023, выпуск 3(56), страницы 60–63
DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2023_3_56_60 (Mi pfmt919) 		 
ТЕХНИКА

Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники

В. В. Емельяновa, А. Н. Купоb, В. А. Емельяновc

a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск
b Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины
c ОАО «Интеграл», Минск
PDF полного текста (313 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2023_3_56_60
Аннотация: Проведено математическое моделирование плазмохимического травления (ПХТ) пленки нитрида кремния в плазме газовой смеси, содержащей в качестве фторсодержащего газа гексафторид серы в количестве $70$–$91$ об.$\%$ и кислород в количестве $30$–$9$ об.$\%$, при плотности мощности плазмы $I = 0,2$–$0,4$ Вт/см$^2$ и рабочем давлении $P = 4$–$8$ Па.
Ключевые слова: плазмохимическое травление, нитрид кремния, математическое моделирование.
Поступила в редакцию: 16.08.2023
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.382
Образец цитирования: В. В. Емельянов, А. Н. Купо, В. А. Емельянов, “Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники”, ПФМТ, 2023, № 3(56), 60–63
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{EmeKupEme23}
\by В.~В.~Емельянов, А.~Н.~Купо, В.~А.~Емельянов
\paper Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники
\jour ПФМТ
\yr 2023
\issue 3(56)
\pages 60--63
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt919}
\crossref{https://doi.org/10.54341/20778708_2023_3_56_60}
\edn{https://elibrary.ru/PTZREH}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt919
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2023/i3/p60
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Проблемы физики, математики и техники
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024