Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия

Проведены исследования характеристик пленок оксида титана-алюминия, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ti-Al составных мишеней. Получены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности тока утечки и напряженности поля пробоя от степени легирования пленок алюминием $C_{\mathrm{Al}}$ и концентрации кислорода в Ar / O$_2$ смеси газов в процессе нанесения $\Gamma_{\mathrm{O}2}$. Установлено, что увеличение $C_{\mathrm{Al}}$ приводит к снижению диэлектрических потерь и тока утечки, увеличению ширины запрещенной зоны и напряженности поля пробоя пленок. Однако при этом диэлектрическая проницаемость пленок снижается до значений менее $10$.