Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Проблемы физики, математики и техники, 2022, выпуск 3(52), страницы 97–104
DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2022_3_52_97 (Mi pfmt866) 		 
ТЕХНИКА

Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру

Х. Т. Доанa, Д. А. Голосовa, В. А. Бурдовицинb, С. М. Завадскийa, С. Н. Мельниковa

a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск
b Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Томск
PDF полного текста (1110 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.54341/20778708_2022_3_52_97
Аннотация: Проведены исследования процессов реактивного магнетронного распыления Ta мишени в Ar/O$_2$ смеси газов. Установлены зависимости напряжения разряда, скорости нанесения и электрофизических характеристик пленок оксида тантала от способа газоподачи и концентрации кислорода в Ar/O$_2$ смеси газов. Установлено, что металлический, переходной и реактивный режим работы системы распыления определяются изменением скорости нанесения пленок. Независимо от способа подачи рабочих газов в камеру, начальное формирование диэлектрических пленок оксида тантала с низким оптическим поглощением наблюдается в переходном режиме работы системы.
Ключевые слова: тонкие пленки, оксид тантала, реактивное магнетронное распыление, скорость нанесения, диэлектрические свойства.
Поступила в редакцию: 25.04.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.3.049.77: 621.793
Образец цитирования: Х. Т. Доан, Д. А. Голосов, В. А. Бурдовицин, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, “Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру”, ПФМТ, 2022, № 3(52), 97–104
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DoaGolBur22}
\by Х.~Т.~Доан, Д.~А.~Голосов, В.~А.~Бурдовицин, С.~М.~Завадский, С.~Н.~Мельников
\paper Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру
\jour ПФМТ
\yr 2022
\issue 3(52)
\pages 97--104
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt866}
\crossref{https://doi.org/10.54341/20778708_2022_3_52_97}
\edn{https://elibrary.ru/HSPOIT}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt866
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2022/i3/p97
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Проблемы физики, математики и техники
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:57
    PDF полного текста:44
    Список литературы:9
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024