|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
ФИЗИКА
Исследование влияния электрических параметров импульсного источника питания СВЧ магнетрона на режимы генерации плазмы СВЧ разряда
О. И. Тихонa, С. И. Мадвейкоa, С. И. Бордусов a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск
Аннотация:
Изучено влияние электрических режимов управляемого импульсного инверторного источника электропитания СВЧ магнетрона на условия генерации плазмы СВЧ разряда большого объёма (около 9000 см$^3$) в крупногабаритной камере СВЧ плазмотрона резонаторного типа. Исследовано влияние параметров анодного тока в цепи электропитания СВЧ магнетрона на оптические характеристики СВЧ разряда. Проведен сравнительный анализ оптических характеристик формируемого в импульсном и непрерывном режиме генерации СВЧ разряда в зависимости от выходной мощности источника электропитания СВЧ магнетрона. Установлено, что уменьшение скважности между пачками импульсов анодного тока и последующий переход к постоянному режиму приводит к непропорциональному увеличению энерговклада в плазму СВЧ разряда.
Ключевые слова:
СВЧ разряд, СВЧ магнетрон, непрерывный режим работы, оптическое свечение плазмы.
Поступила в редакцию: 30.06.2022
Образец цитирования:
О. И. Тихон, С. И. Мадвейко, С. И. Бордусов, “Исследование влияния электрических параметров импульсного источника питания СВЧ магнетрона на режимы генерации плазмы СВЧ разряда”, ПФМТ, 2022, № 3(52), 42–47
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt856 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2022/i3/p42
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 53 | PDF полного текста: | 34 | Список литературы: | 17 |
|