Влияние термообработки на механические свойства слоистых углеродных покрытий

Методами инструментального индентирования определено влияние режимов термообработки на механические свойства покрытий на основе углерода и композиционных нитридных слоев. Установлено увеличение твердости (Al-TiN)/а-С покрытия до $19,7$ ГПа после отжига в вакууме при $400^\circ$ С. Определены отношения $H/E$, $H^3/E^2$, характеризующие упругие свойства покрытий. Установлено увеличение стойкости к пластической деформации для покрытий, содержащих в своем составе алюминий после термообработки в вакууме. Анализ поведения коэффициентов упругого восстановления $\eta_{IT}$, полученных при разных глубинах индентирования, указывает на формирование более однородной объёмной структуры и снижение градиента механических свойств по толщине в сравнении с неотожженными покрытиями.