Влияние плазменной обработки покрытий на основе кремнийорганических полимеров, осажденных методом электроннолучевого диспергирования, на их структуру и морфологию

Методами РФЭС, ИК спектроскопии и АСМ микроскопии определены изменения состава, молекулярной структуры и морфологии кремнийорганических покрытий К42 и композиционных слоев на основе К42 и фторуглеродных высоко- молекулярных соединений при их плазменной обработке. Показано, что плазменная обработка покрытий вызывает разрушение Si – C связей, отщепление углеводородных фрагментов и образование кислородсодержащих групп, SiO$_2$-подобных структур, повышение шероховатости поверхностных слоев. При плазменной обработке композиционного покрытия происходит преимущественное разрушение фторуглеродной компоненты. Увеличение массовой доли ПТФЭ в исходной мишени не сопровождается монотонным снижением поверхностной энергии осаждаемого покрытия.