Структура и свойства a-C покрытий, содержащих металлы и продукты их взаимодействия с азотом, углеродом

С использованием вакуумно-плазменных методов осаждены (Cu-CrN):a-C и (Al-CrN):a-C покрытия, определен их химический и фазовый состав, механические свойства. Методом РФЭС установлены особенности образования нитридных и карбидных соединений при содержании в покрытии хрома, меди или алюминия. Показано, что концентрация азотсодержащих связей и содержание карбидной фазы в (Al-CrN):a-C покрытии значительно превышает их содержание в (Cu-CrN):a-C покрытии. Определены триботехнические свойства покрытий при трении по стали ШХ15, Al$_2$O$_3$ и Si$_3$N$_4$. Показано, что более низкое значение коэффициента трения регистрируется при контактном взаимодействии (Al-CrN):a-C со сталью ШХ15 (0,2), а минимальный коэффициент объёмного износа контртела получен в паре трения с Al$_2$O$_3$ (1,08$\times$10$^{-10}$ м$^3$/(Н$\cdot$м)). Методом индентирования показано, что введение меди увеличивает пластичность покрытий, при этом их твердость снижается незначительно. (Al-CrN):а-C покрытия характеризуются более высокой твердостью (14,2 ГПа) и коэффициент упругого восстановления $\eta_{IT}$ равен 51,8 % при глубине индентирования 500 нм.