|
Проблемы физики, математики и техники, 2020, выпуск 4(45), страницы 81–87
(Mi pfmt749)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
ФИЗИКА
Электронно-лучевой синтез, структура и свойства однокомпонентных и легированных магнием покрытий оксида цинка
М. А. Ярмоленкоa, А. С. Руденковa, А. В. Рогачёвa, Е. Русуb, А. В. Семченкоa, В. В. Сидскийa a Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины
b Институт электронной инженерии и нанотехнологий имени Д.В. Гицу
Аннотация:
Установлены особенности электронно-лучевого осаждения, структуры и свойств покрытий ZnO и Zn$_x$Mg$_{1-x}$O с использованием в качестве мишени механических смесей порошков ацетата цинка, металлического цинка, магния. Показано, что применение лазерного излучения, ассистирующего процесс электронно-лучевого испарения ацетата цинка, и последующая термообработка позволяют осаждать высокодисперсные тонкие покрытия на основе ZnO со стабильными значениями ширины запрещенной зоны. При этом использование ассистирующего излучения с длиной волны 266 нм за счет протекания фотохимического разложения соли инициирует образование менее дисперсных оксидных фаз. Введение в состав покрытий магния заметно не изменяет их молекулярную структуру и приводит к незначительному возрастанию ширины запрещенной зоны. На основании полученных данных сделан вывод о преимущественно независимом формировании оксидных фаз при изученных условиях синтеза, незначительном содержании в составе покрытия твердых растворов.
Ключевые слова:
оксид цинка, магний, морфология, фазовый состав, структура, электронно-лучевое диспергирование.
Поступила в редакцию: 03.11.2020
Образец цитирования:
М. А. Ярмоленко, А. С. Руденков, А. В. Рогачёв, Е. Русу, А. В. Семченко, В. В. Сидский, “Электронно-лучевой синтез, структура и свойства однокомпонентных и легированных магнием покрытий оксида цинка”, ПФМТ, 2020, № 4(45), 81–87
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt749 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2020/i4/p81
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 85 | PDF полного текста: | 76 | Список литературы: | 11 |
|