Исследование процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек

В работе выполнено численное моделирования процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла при воздействии на обрабатываемое изделие лазерных пучков с длинами волн равными 1,06 мкм и 10,6 мкм и хладагента. Расчет термоупругих полей, формируемых в двухслойной пластине в результате лазерного нагрева, осуществлялся для трех срезов кристаллов кремния: (100), (110), (111). Анализ полученных результатов был проведен как для случая обработки со стороны стеклянного слоя, так и для случая обработки со стороны монокристаллического кремния. Результаты, полученные в работе, могут быть использованы при оптимизации процесса прецизионного разделения двухслойных структур из монокристаллического кремния и стекла.