Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления

Представлены результаты исследований диэлектрических характеристик пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления Ta мишени в Ar/O$_2$ смеси газов. Установлены зависимости диэлектрической проницаемости, тангенса угла диэлектрических потерь, ширины запрещенной зоны, плотности токов утечки от содержания кислорода в Ar/O$_2$ смеси газов в процессе нанесения пленок. Получены пленки с диэлектрической проницаемостью $12$–$30$ единиц, тангенсом угла диэлектрических потерь $0.01$, плотностью токов утечки менее $0.1$ А/см$^2$ при напряженности электрического поля $2.0\times10^6$ В/см и шириной запрещенной зоны $4.5$–$4.85$ эВ.