Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Проблемы физики, математики и техники, 2018, выпуск 4(37), страницы 25–29 (Mi pfmt599)  
ФИЗИКА

Исследование приповерхностного нарушенного слоя в пластинах монокристаллического кремния после химико-механической полировки

Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова

Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины
PDF полного текста (651 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: В процессе химико-механической полировки (ХМП) пластин монокристаллического кремния применяют суспензии на основе наноразмерного диоксида кремния. Качество поверхности полупроводниковых подложек характеризуется шероховатостью и глубиной структурно нарушенного слоя. Методом комбинационного рассеяния света исследуется нарушенный слой и влияние шероховатости поверхности на интенсивность спектральных линий. Показано, что интенсивность основной рамановской моды кремния сильно зависит от шероховатости поверхности.
Ключевые слова: комбинационное рассеяние света, шероховатость поверхности, наноразмерные частицы, нарушенный слой, химико-механическая полировка.
Поступила в редакцию: 06.11.2018
Тип публикации: Статья
УДК: 546.28 535.375.5
Образец цитирования: Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова, “Исследование приповерхностного нарушенного слоя в пластинах монокристаллического кремния после химико-механической полировки”, ПФМТ, 2018, № 4(37), 25–29
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KosGaiTyu18}
\by Я.~А.~Косенок, В.~Е.~Гайшун, О.~И.~Тюленкова
\paper Исследование приповерхностного нарушенного слоя в пластинах монокристаллического кремния после химико-механической полировки
\jour ПФМТ
\yr 2018
\issue 4(37)
\pages 25--29
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt599}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt599
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2018/i4/p25
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Проблемы физики, математики и техники
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:217
    PDF полного текста:284
    Список литературы:26
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024