|
Проблемы физики, математики и техники, 2012, выпуск 3(12), страницы 37–40
(Mi pfmt57)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
ФИЗИКА
Исследование процесса лазерного раскалывания кремниевых пластин, вырезанных в плоскости (110)
А. Н. Сердюков, С. В. Шалупаев, Ю. В. Никитюк, А. А. Середа Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Гомель
Аннотация:
Представлены результаты моделирования процесса лазерного термораскалывания монокристаллического кремния. Расчет термоупругих полей, формируемых в кремниевой пластине в результате последовательного лазерного нагрева и воздействия хладагента, осуществлялся для среза (110) в трех различных вариантах перемещений лазерного пучка, а именно в направлениях [1–10], [001], [1–11].
Ключевые слова:
трещина, лазерное раскалывание, кремниевая пластина.
Поступила в редакцию: 05.06.2012
Образец цитирования:
А. Н. Сердюков, С. В. Шалупаев, Ю. В. Никитюк, А. А. Середа, “Исследование процесса лазерного раскалывания кремниевых пластин, вырезанных в плоскости (110)”, ПФМТ, 2012, № 3(12), 37–40
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt57 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2012/i3/p37
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 163 | PDF полного текста: | 91 | Список литературы: | 31 |
|