Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Проблемы физики, математики и техники, 2012, выпуск 3(12), страницы 37–40 (Mi pfmt57)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

ФИЗИКА

Исследование процесса лазерного раскалывания кремниевых пластин, вырезанных в плоскости (110)

А. Н. Сердюков, С. В. Шалупаев, Ю. В. Никитюк, А. А. Середа

Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Гомель
PDF полного текста (402 kB) Список цитирования (1)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Представлены результаты моделирования процесса лазерного термораскалывания монокристаллического кремния. Расчет термоупругих полей, формируемых в кремниевой пластине в результате последовательного лазерного нагрева и воздействия хладагента, осуществлялся для среза (110) в трех различных вариантах перемещений лазерного пучка, а именно в направлениях [1–10], [001], [1–11].
Ключевые слова: трещина, лазерное раскалывание, кремниевая пластина.
Поступила в редакцию: 05.06.2012
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826
Образец цитирования: А. Н. Сердюков, С. В. Шалупаев, Ю. В. Никитюк, А. А. Середа, “Исследование процесса лазерного раскалывания кремниевых пластин, вырезанных в плоскости (110)”, ПФМТ, 2012, № 3(12), 37–40
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SerShaNik12}
\by А.~Н.~Сердюков, С.~В.~Шалупаев, Ю.~В.~Никитюк, А.~А.~Середа
\paper Исследование процесса лазерного раскалывания кремниевых пластин, вырезанных в плоскости (110)
\jour ПФМТ
\yr 2012
\issue 3(12)
\pages 37--40
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt57}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt57
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2012/i3/p37
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Проблемы физики, математики и техники
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:163
    PDF полного текста:91
    Список литературы:31
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024