Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Проблемы физики, математики и техники, 2016, выпуск 2(27), страницы 12–17 (Mi pfmt435)  

Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

ФИЗИКА

Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении

А. П. Достанко, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Д. Э. Окоджи, Д. Д. Котинго, Г. М. Рубан

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск
Список литературы:
Аннотация: Проведены исследования процесса реактивного магнетронного распыления титана в среде Ar/N$_2$ рабочих газов при пониженном давлении. Установлено, что при высоковакуумном режиме работы магнетронной распылительной системы и высоких скоростях откачки в режиме стабилизации мощности разряда магнетрона напряжение разряда практически однозначно зависит от содержания реактивного газа в камере, т. е. отсутствует гистерезис характеристик, свойственный процессам реактивного распыления. При этом возможно воспроизводимое нанесение слоев нитрида титана c удельным сопротивлением менее 70 мкОм$\times$см и твердостью свыше 28 ГПа.
Ключевые слова: реактивное магнетронное распыление, нитрид титана, микротвердость, коэффициент трения, объемный износ.
Поступила в редакцию: 15.04.2016
Тип публикации: Статья
УДК: 621.3.049.77:621.793
Образец цитирования: А. П. Достанко, Д. А. Голосов, С. М. Завадский, С. Н. Мельников, Д. Э. Окоджи, Д. Д. Котинго, Г. М. Рубан, “Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении”, ПФМТ, 2016, № 2(27), 12–17
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{DosGolZav16}
\by А.~П.~Достанко, Д.~А.~Голосов, С.~М.~Завадский, С.~Н.~Мельников, Д.~Э.~Окоджи, Д.~Д.~Котинго, Г.~М.~Рубан
\paper Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении
\jour ПФМТ
\yr 2016
\issue 2(27)
\pages 12--17
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt435}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt435
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2016/i2/p12
  • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Проблемы физики, математики и техники
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:375
    PDF полного текста:305
    Список литературы:32
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024