Влияние концентрации металла на фазовый состав, структуру и свойства углерод-металлических покрытий

Определены морфологические особенности, фазовый состав, микротвердость и триботехнические свойства композиционных углеродных покрытий, сформированных совместным осаждением углеродных плазменных потоков из импульсного катодно-дугового разряда и потоков атомов, ионов металла (Cr, Ti, Cu), генерируемых магнетронным распылением, их зависимость от мощности источника распыления. Показано, что такие слои характеризуются высокой плотностью и упорядоченностью $\mathrm{sp}^2$-кластеров, низкой шероховатостью. При увеличении мощности магнетронного разряда установлено повышение твердости и снижение интенсивности изнашивания контртела.