|
Проблемы физики, математики и техники, 2014, выпуск 4(21), страницы 7–9
(Mi pfmt331)
|
|
|
|
ФИЗИКА
Источники низкоэнергетичных пучков заряженных частиц
В. А. Груздев, В. Г. Залесский, П. Н. Солдатенко Полоцкий государственный университет, Новополоцк, Беларусь
Аннотация:
В работе представлены некоторые результаты, полученные при разработке низкоэнергетичных плазменных источников электронов, формирующих электронные и ионные пучки с параметрами, достаточными для реализации ряда технологий модификации поверхностей.
Ключевые слова:
низкоэнергетичные пучки, плазменный источник электронов, электродная структура.
Поступила в редакцию: 15.09.2014
Образец цитирования:
В. А. Груздев, В. Г. Залесский, П. Н. Солдатенко, “Источники низкоэнергетичных пучков заряженных частиц”, ПФМТ, 2014, № 4(21), 7–9
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt331 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2014/i4/p7
|
|