Проблемы физики, математики и техники
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


ПФМТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Проблемы физики, математики и техники, 2014, выпуск 3(20), страницы 26–31 (Mi pfmt317)  
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

ФИЗИКА

Водные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния

Я. А. Косенокa, В. Е. Гайшунa, О. И. Тюленковаa, В. Г. Денисманb

a Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины, Гомель, Беларусь
b Филиал «Камертон» ОАО «Интеграл», Пинск, Беларусь
PDF полного текста (1040 kB) Список цитирования (2)
Список литературы:
PDF
HTML
Аннотация: Описывается методика приготовления суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного диоксида кремния. Исследуется процесс и приводятся результаты химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния, проведенные в производственных условиях. Даются рекомендации по использованию полирующих композиций в процессе химико-механической полировки. При использовании полирующих суспензий СПС-81М и СПС-55М в процессе ХМП пластин монокристаллического кремния достигается высокое структурное совершенство и атомарная гладкость поверхности с шероховатостью на уровне десятых долей нанометра.
Ключевые слова: химико-механическое полирование, пирогенный диоксид кремния, наноразмерные частицы, поверхность, шероховатость.
Поступила в редакцию: 25.07.2014
Тип публикации: Статья
УДК: 546.28
Образец цитирования: Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова, В. Г. Денисман, “Водные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния”, ПФМТ, 2014, № 3(20), 26–31
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KosGaiTyu14}
\by Я.~А.~Косенок, В.~Е.~Гайшун, О.~И.~Тюленкова, В.~Г.~Денисман
\paper Водные композиции на основе наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния
\jour ПФМТ
\yr 2014
\issue 3(20)
\pages 26--31
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/pfmt317}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt317
  • https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2014/i3/p26
    • Эта публикация цитируется в следующих 2 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Проблемы физики, математики и техники
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:331
    PDF полного текста:210
    Список литературы:42
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024