|
Проблемы физики, математики и техники, 2014, выпуск 1(18), страницы 21–25
(Mi pfmt283)
|
|
|
|
ФИЗИКА
Influence of thickness on structural properties of annealed $\mathrm{In_2S_3}$ thin films deposited by thermal evaporation
[Влияние толщины на структурные свойства отоженных $\mathrm{In_2S_3}$ тонких пленок, осажденных термическим испарением]
H. Izadneshana, V. F. Gremenokb a Islamic Azad University of Marvdasht, Marvdasht, Iran
b Scientific-Practical Materials Research Centre of the National Academy of Sciences of Belarus, Minsk, Belarus
Аннотация:
$\mathrm{In_2S_3}$ тонкие пленки различной толщины осаждены на стеклянные подложки методом термического испарения. Толщины $\mathrm{In_2S_3}$ пленок регулировались параметрами осаждения и были $1200$ нм, $470$ нм и $50$ нм. Все полученные тонкие пленки отжигались при $400^\circ$С в течение $60$ мин. Структурные свойства и морфология исследовались методами рентгеновской дифракции, спектроскопия комбинационного рассеяния и атомно-силовой микроскопии. Результаты рентгенографии показали, что для пленок $\mathrm{In_2S_3}$ толщиной $1200$ нм и $470$ нм характерны рефлексы тетрагональной структуры. Спектроскопия комбинационного рассеяния показала, что интенсивность пиков зависит от толщины пленок. Средняя шероховатость ($R_a$) и среднеквадратичная шероховатость ($R_{\text{RMS}}$) увеличивается с толщиной, что связано с увеличением размера зерен в $\mathrm{In_2S_3}$ пленках.
Ключевые слова:
$\mathrm{In_2S_3}$ тонкие пленки, термическое испарении, структурные и морфологические свойства, размер зерна.
Поступила в редакцию: 17.02.2014
Образец цитирования:
H. Izadneshan, V. F. Gremenok, “Influence of thickness on structural properties of annealed $\mathrm{In_2S_3}$ thin films deposited by thermal evaporation”, ПФМТ, 2014, no. 1(18), 21–25
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt283 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2014/i1/p21
|
|