Размерные эффекты в наноразмерных двухслойных покрытиях титан-углерод. 2. Зависимость структуры и свойств от толщины углеродного слоя

Определены зависимости фазового состава, механических свойств углеродных слоев, нанесенных на наноподслой титана от их толщины. Установлено, что каталитическое влияние подложки наиболее сильно проявляется при толщине углеродного слоя менее 90 нм. В более толстых слоях характер размерных зависимостей структуры и фазового состава аналогичен зависимостям, характерным для покрытий углерода, осажденных без подслоя. Показано, что размерные зависимости оптических свойств, проявляющиеся в повышении прозрачности и изменении ширины запрещенной зоны с ростом толщины углеродного слоя, связаны с протеканием процессов диффузии на границе раздела фаз.