Размерные эффекты в бислойных покрытиях титан-углерод. 1. Влияние толщины подслоя титана на структуру и свойства углеродного слоя

Определены закономерности влияния толщины подслоя титана в двухслойных покрытиях титан-углерод на их фазовый состав, механические свойства. Наиболее сильное каталитическое влияние титанового подслоя проявляется при его толщине до 30…45 нм; при такой толщине установлены наиболее высокие концентрации атомов углерода с $\mathrm{sp^3}$-гибридизацией, микротвердость покрытия, его прозрачность в оптическом диапазоне и ширина запрещенной зоны. При увеличении толщины подслоя внутренние напряжения монотонно снижаются и при толщине большей 40 нм не изменяются.