Морфология и оптические свойства многослойных покрытий из тугоплавких оксидов

Определены морфологические особенности формирования и оптические свойства многослойных покрытий на основе тугоплавких оксидов $\mathrm{SiO_2}$, $\mathrm{ZrO_2}$, $\mathrm{TiO_2}$, формируемых электронно-лучевым испарением. Проведён анализ спектров поляризации сформированных покрытий и их зависимости от природы материала подложки. Показано, что отношение коэффициентов пропускания $p$-поляризованного и $s$-поляризованного излучения в видимой области максимально при нанесении покрытия на подложку из стекла К-8С (в сравнении с подложками из кварца и полиметилметакрилата). Морфология слоёв покрытий характеризуется низкими значениями шероховатости 1,6…4,1 нм, что определяет перспективность их применения в качестве поляризационных элементов.