Механические свойства легированных медью углеродных покрытий, осажденных из импульсной катодной плазмы

Определены особенности влияния легирования медью однокомпонентных и титансодержащих алмазоподобных покрытий, получаемых из катодной импульсной плазмы, на их микротвердость, внутренние механические напряжения и морфологию. Показано, что медьсодержащие углеродные покрытия имеют неоднородную структуру, характеризуются более низкой микротвердостью, сохраняют высокие триботехнические свойства. При отжиге покрытий, содержащих углерод, титан, медь, микротвердость возрастает. Введение в покрытие меди приводит к снижению внутренних механических напряжений, изменению их характера; при высокой концентрации меди они становятся сжимающими.