Прогнозирование эрозии мишени магнетронных распылительных систем

Предложен метод прогнозирования эрозии мишени магнетронных распылительных систем, который основан на определении зоны эффективной ионизации атомов рабочего газа, примерной концентрации заряженных части и допущении, что концентрация актов ионизации в каждой точке объема плазмы пропорциональна отношению величины горизонтальной составляющей индукции магнитного поля к квадрату индукции. Для практической реализации предложенной модели разработано программное средство TargProf, обеспечивающее расчет конфигурации магнитных полей с использованием программного комплекса ELCUT, формирование матриц выходных данных и анализ получаемых результатов, которая позволяет прогнозировать профиль зоны эрозии мишени на этапе проектирования магнетронной системы с погрешностью не превышающей 15 – 20% (в зависимости от конструкции магнетронов).