|
Проблемы физики, математики и техники, 2010, выпуск 2(3), страницы 80–82
(Mi pfmt158)
|
|
|
|
ТЕХНИКА
Study of the preparation CuO and boron films
[Изучение процесса формирования покрытий бора и оксида меди]
Zhu Penga, N. N. Fedosenkob, D. G. Piliptsovb, R. V. Bekarevichb a Nanjing University of Science and Technology, Nanjing, China
b F. Skorina Gomel State University, Gomel
Аннотация:
В представленной статье рассматриваются покрытия бора и оксида меди, осажденные c помощью распыляющего ионного источника. Скорость осаждения покрытий варьировалась от 11 до 11.8 нм/мин. Морфология и состав исследовались с помощью атомно-силовой микроскопии и рентгеноструктурного анализа. Данные исследования показали, что борные покрытия имеют более однородную структуру по сравнению с покрытиями оксида меди.
Ключевые слова:
атомно-силовая микроскопия, бор, распыляющий ионно-лучевой источник, процесс горячего изо-статического прессования, рентгеноструктурный анализ.
Поступила в редакцию: 10.06.2010
Образец цитирования:
Zhu Peng, N. N. Fedosenko, D. G. Piliptsov, R. V. Bekarevich, “Study of the preparation CuO and boron films”, ПФМТ, 2010, no. 2(3), 80–82
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/pfmt158 https://www.mathnet.ru/rus/pfmt/y2010/i2/p80
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 117 | PDF полного текста: | 61 | Список литературы: | 39 |
|