Учет влияния естественного поверхностного слоя при исследовании кремниевых пластин методом спектральной эллипсометрии

Исследуется возможность исключения влияния естественного поверхностного слоя при определении методом спектральной эллипсометрии дисперсии показателей преломления $n(\lambda)$ и поглощения $k(\lambda)$ полупроводниковой подложки. Показано, что при решении обратных эллипсометрических задач можно использовать простейшую модель переходного слоя с одним параметром, который определяется толщиной и показателем преломления слоя.