|
Эта публикация цитируется в 17 научных статьях (всего в 17 статьях)
Спектроскопия конденсированного состояния
Оптические свойства нестехиометрического оксида тантала TaO$_{x}$ ($x<$ 5/2) по данным спектроэллипсометрии и комбинационного рассеяния
В. Н. Кручининa, В. А. Володинab, Т. В. Переваловab, А. К. Герасимоваa, В. Ш. Алиевa, В. А. Гриценкоc a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения РАН,
630090 Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
c Новосибирский государственный технический университет, 630073 Новосибирск, Россия
Аннотация:
Исследованы оптические свойства аморфных нестехиометрических пленок оксида тантала TaO$_{x}$ переменного состава ($x$ = 1.94–2.51) в спектральном диапазоне 1.12–4.96 eV, полученных с помощью ионно-лучевого распыления-осаждения металлического тантала при разных парциальных давлениях (0.53–9.09 $\cdot$ 10$^{-3}$ Pa) кислорода. Методом спектроэллипсометрии показано, что по характеру дисперсии коэффициента поглощения и показателя преломления в TaO$_{x}$ переменного состава можно сделать вывод о том, что при величинах давления кислорода в ростовой камере ниже 2.21 $\cdot$ 10$^{-3}$ Па образуются поглощающие свет пленки с дисперсией, похожей на таковую в металлах, а при величинах давлений выше 2.81 $\cdot$ 10$^{-3}$ Па – прозрачные пленки с диэлектрическим типом дисперсии. По данным квантово-химического моделирования пик поглощения при энергии кванта 4.6 eV в TaO$_{x}$, наблюдаемый в спектре дисперсии коэффициента поглощения, обусловлен вакансией кислорода. Максимум в спектрах комбинационного (рамановского) рассеяния в пленках TaO$_{x}$ с металлическим типом дисперсии на частотах 200–230 сm$^{-1}$ предположительно связан с танталовыми нанокластерами.
Поступила в редакцию: 10.02.2018
Образец цитирования:
В. Н. Кручинин, В. А. Володин, Т. В. Перевалов, А. К. Герасимова, В. Ш. Алиев, В. А. Гриценко, “Оптические свойства нестехиометрического оксида тантала TaO$_{x}$ ($x<$ 5/2) по данным спектроэллипсометрии и комбинационного рассеяния”, Оптика и спектроскопия, 124:6 (2018), 777–782; Optics and Spectroscopy, 124:6 (2018), 808–813
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os980 https://www.mathnet.ru/rus/os/v124/i6/p777
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 24 |
|