|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Спектроскопия конденсированного состояния
Структурная анизотропия пленок аморфного кремния, модифицированных фемтосекундными лазерными импульсами
Д. В. Шулейкоa, Ф. В. Кашаевa, Ф. В. Потемкинa, С. В. Заботновabc, А. В. Зотеевa, Д. Е. Пресновad, И. Н. Пархоменкоe, И. А. Романовe a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
b Институт нано-, био-, информационных, когнитивных и социогуманитарных наук и технологий МФТИ, 123098, Москва, Россия
c Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", 123182 Москва, Россия
d Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д. В. Скобельцына, 119991 Москва, Россия
e Белорусский государственный университет, 220030 Минск, Республика Беларусь
Аннотация:
Показано, что ориентация поверхностного рельефа в виде одномерных решеток с периодом 1.20 $\pm$ 0.02 $\mu$m, формируемого при обработке пленок аморфного гидрогенизированного кремния фемтосекундными лазерными импульсами (1.25 $\mu$m) с плотностью энергии 0.15 J/cm$^{2}$, определяется направлением вектора поляризации использованного излучения и совокупной дозой экспозиции. В облученных областях пленок зарегистрировано присутствие нанокристаллической фазы кремния, объемная доля которой (в зависимости от условий обработки) составляет от 15 до 67% согласно результатам анализа спектров комбинационного рассеяния света. Наблюдаемые процессы микро- и наноструктурирования обусловлены соответственно возбуждением поверхностных плазмон-поляритонов и нанокристаллизацией в приповерхностной области в поле мощных фемтосекундных лазерных импульсов. Кроме того, обнаружено формирование полиморфных модификаций кремния Si-III и Si-XII при фемтосекундной лазерной обработке с числом импульсов излучения более 500, а также зарегистрирована анизотропия сигнала комбинационного рассеяния света для данных полиморфных модификаций.
Поступила в редакцию: 06.02.2018
Образец цитирования:
Д. В. Шулейко, Ф. В. Кашаев, Ф. В. Потемкин, С. В. Заботнов, А. В. Зотеев, Д. Е. Преснов, И. Н. Пархоменко, И. А. Романов, “Структурная анизотропия пленок аморфного кремния, модифицированных фемтосекундными лазерными импульсами”, Оптика и спектроскопия, 124:6 (2018), 770–776; Optics and Spectroscopy, 124:6 (2018), 801–807
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os979 https://www.mathnet.ru/rus/os/v124/i6/p770
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 20 |
|