|
Прикладная оптика
Повышение устойчивости спектральных характеристик интерференционных покрытий к отклонению в параметрах слоев, входящих в их состав
Нго Тхай Фи, Л. А. Губанова, Фам Ван Хоа Университет ИТМО, 197101 Санкт Петербург, Россия
Аннотация:
Представлен новый метод повышения устойчивости спектральных характеристик интерференционных покрытий к отклонениям в параметрах слоев, входящих в их состав. С помощью этого метода возможно получить спектральную характеристику энергетических коэффициентов пропускания (или отражения) экспериментального изготовленного покрытия, которая максимально приближена к характеристике синтезированного. Представлен способ использования нескольких образцов для контроля толщины слоев в процессе их формирования с целью уменьшения отклонения оптических слоев в процессе изготовления интерференционных покрытий.
Поступила в редакцию: 13.02.2018
Образец цитирования:
Нго Тхай Фи, Л. А. Губанова, Фам Ван Хоа, “Повышение устойчивости спектральных характеристик интерференционных покрытий к отклонению в параметрах слоев, входящих в их состав”, Оптика и спектроскопия, 125:2 (2018), 284–288; Optics and Spectroscopy, 125:2 (2018), 300–304
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os945 https://www.mathnet.ru/rus/os/v125/i2/p284
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 18 | PDF полного текста: | 7 |
|