Плазмонные фотопроводящие антенны для систем терагерцовой импульсной спектроскопии и визуализации

Предложена терагерцовая (THz) плазмонная фотопроводящая антенна (ФПА) с рекордной высотой металлического электрода $h$ = 100 nm и аспектным соотношением $h/p$ = 0.5 ($p$ – период плазмонной решетки) для использования в качестве источника в системах THz импульсной спектроскопии и визуализации. Экспериментально продемонстрировано, что мощность генерируемого THz излучения в плазмонной ФПА на 2 порядка выше, чем в эквивалентной ФПА без плазмонной решетки. Измерения вольт-амперных характеристик плазмонной ФПА при воздействии фемтосекундного лазерного излучения показали увеличение фототока антенны в 15 раз до $i_{p}\approx$ 1.2 mA. Для уменьшения токов утечки ФПА предложена технология формирования электродов путем вытравливания окон в тонком слое пассивирующего диэлектрика Si$_{3}$N$_{4}$, нанесенного на поверхность фотопроводника, позволяющая уменьшить темновой ток до $i_{d}\approx$ $\mu$A.