|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Всероссийская научная конференции ''Современные проблемы оптики и спектроскопии'', Троицк, Москва, 28-29 ноября 2018 года
Спектроскопия конденсированного состояния
Поверхностные поляритоны в пленках нитридов алюминия и галлия, легированных кремнием
Н. Н. Новиковаa, В. А. Яковлевa, С. А. Климинa, Т. В. Малинb, А. М. Гилинскийb, К. С. Журавлевbc a Институт спектроскопии РАН, Москва, г. Троицк
b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
c Новосибирский государственный университет
Аннотация:
Измерены спектры отражения и спектры нарушенного полного внутреннего отражения сильно легированных кремнием пленок нитридов алюминия и галлия на сапфировых подложках с буферным слоем нитрида алюминия. В спектрах нарушенного полного внутреннего отражения наблюдались поверхностные фононные и плазмон-фононные поляритоны. Экспериментально наблюдалась высокая концентрация носителей в пленке нитрида галлия и их практическое отсутствие в пленке нитрида алюминия.
Ключевые слова:
нитриды алюминия и галлия, спектры отражения, поверхностные поляритоны.
Поступила в редакцию: 25.02.2018 Исправленный вариант: 25.02.2018 Принята в печать: 15.03.2019
Образец цитирования:
Н. Н. Новикова, В. А. Яковлев, С. А. Климин, Т. В. Малин, А. М. Гилинский, К. С. Журавлев, “Поверхностные поляритоны в пленках нитридов алюминия и галлия, легированных кремнием”, Оптика и спектроскопия, 127:1 (2019), 42–45; Optics and Spectroscopy, 127:1 (2019), 36–39
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os662 https://www.mathnet.ru/rus/os/v127/i1/p42
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 22 |
|