|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Прецизионные оптические измерения и метрология
Моделирование фазовых сдвигов света в порядках дифракционных решеток интерференционного датчика линейных перемещений
С. Б. Одиноковa, М. В. Шишоваa, А. Ю. Жердевa, М. С. Ковалевa, М. Л. Галкинa, В. Ю. Венедиктовbc a Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана
b Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)
c Санкт-Петербургский государственный университет
Аннотация:
Рассмотрены фазовые сдвиги света в порядках дифракционных решеток для интерференционного датчика линейных перемещений. Применение фазовой дифракционной решетки с заданными геометрическими параметрами поверхностного рельефа позволяет стабилизировать фазовые соотношения в оптических сигналах и в результате в итоговых сигналах, снимаемых с датчика перемещений. На основе данных математического моделирования предложены технически реализуемые параметры поверхностного рельефа дифракционных решеток для создания требуемых фазовых сдвигов между дифрагированными пучками и сигналами квадратурной модуляции и для достижения требуемой точности измерений с нанометрическим разрешением.
Ключевые слова:
фазовый сдвиг, датчик линейных перемещений, квадратурные сигналы.
Поступила в редакцию: 20.03.2019 Исправленный вариант: 11.04.2019 Принята в печать: 23.04.2019
Образец цитирования:
С. Б. Одиноков, М. В. Шишова, А. Ю. Жердев, М. С. Ковалев, М. Л. Галкин, В. Ю. Венедиктов, “Моделирование фазовых сдвигов света в порядках дифракционных решеток интерференционного датчика линейных перемещений”, Оптика и спектроскопия, 127:3 (2019), 469–476; Optics and Spectroscopy, 127:3 (2019), 527–534
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os619 https://www.mathnet.ru/rus/os/v127/i3/p469
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 36 |
|