|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Специальный выпуск ''Физическая оптика и спектроскопия: междисциплинарные исследования''
Прецизионные оптические измерения и метрология
Методика измерения параметров вогнутых крупногабаритных асферических зеркал с помощью датчика волнового фронта
Т. С. Пискунов, Н. В. Барышников, И. В. Животовский, А. А. Сахаров, В. А. Соколовский Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 105005 Москва, Россия
Аннотация:
Разработана методика измерения радиуса $R_v$ и эксцентриситета (параметра conic $k$) вогнутых крупногабаритных асферических зеркал с помощью датчика волнового фронта. Получены аналитические выражения, напрямую связывающие коэффициенты Цернике $a_{4}$ и $a_{9}$ с параметрами зеркала $R_{v}$, и $k$. Показано, что методика не требует точной юстировки зеркала перед измерениями. Проведенный компьютерный анализ показал, что разработанная схема позволяет осуществлять измерения с погрешностями $\delta R_{v}<0.1\%$ и $\delta k<0.01$ для зеркал с радиусами от $100$ до $2000$ mm, $\delta R_{v}<0.01\%$ и $\delta k<0.001$ для зеркал с радиусами более $5000$ mm.
Ключевые слова:
асферическая поверхность, асферическое зеркало, метрология, датчик Шака–Гартмана, датчик волнового фронта, радиус кривизны, эксцентриситет, параметр conic, погрешности измерений, Zemax.
Поступила в редакцию: 30.05.2019 Исправленный вариант: 30.05.2019 Принята в печать: 04.06.2019
Образец цитирования:
Т. С. Пискунов, Н. В. Барышников, И. В. Животовский, А. А. Сахаров, В. А. Соколовский, “Методика измерения параметров вогнутых крупногабаритных асферических зеркал с помощью датчика волнового фронта”, Оптика и спектроскопия, 127:4 (2019), 586–593; Optics and Spectroscopy, 127:4 (2019), 639–646
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os579 https://www.mathnet.ru/rus/os/v127/i4/p586
|
|