Эллипсометрическое исследование тонкопленочных структур аморфного гидрогенизированного углерода и наночастиц золота

Оптические постоянные пленки аморфного гидрогенизированного углерода (a-C : H) и гибридной структуры на ее основе с гранулированной золотой пленкой до и после их отжига при 300$^\circ$С исследовались методом спектральной эллипсометрии. Установлены дисперсии $n(\lambda)$ и $k(\lambda)$ пленки a-C : H с использованием аппроксимации Коши и ее толщина. Спектральные особенности слоя плазмонных наночастиц Au, осажденные на поверхность a-C : H, моделировались в виде эффективной среды и осциллятора Лоренца. Параметры пленок и их толщина определялись путем подгонки расчетных спектров к эллипсометрическим спектрам $\psi(\lambda)$ и $\Delta(\lambda)$. Полученные данные были использованы для определения параметров осциллятора Лоренца в модели двуслойной структуры a-C : H/Au. В результате отжига структуры a-C : H/Au интенсивность максимумов в спектрах $n$ и $k$ увеличилась, их положение смещалось в синюю область, а полуширина полос уменьшилась. Наблюдаемые изменения в эллипсометрических спектрах полностью согласуется со спектрофотометрическими данными этой структуры.