|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Спектроскопия конденсированного состояния
Оптические свойства нестехиометрического оксида кремния SiO$_{x}$ ($x<$ 2)
В. Н. Кручининa, Т. В. Переваловab, Г. Н. Камаевa, С. В. Рыхлицкийa, В. А. Гриценкоabc a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения РАН,
630090 Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
c Новосибирский государственный технический университет,
630073 Новосибирск, Россия
Аннотация:
Исследованы оптические свойства аморфных нестехиометрических пленок оксида кремния SiO$_{x}$ переменного состава ($x$ = 0.62–1.92) в спектральном диапазоне 1.12–4.96 eV, полученных плазмостимулированным химическим осаждением из газовой фазы. Методом спектроэллипсометрии показано, что в зависимости от содержания кислорода в газовой фазе при синтезе образующиеся пленки SiO$_{x}$ по характеру дисперсии показателя преломления могут быть условно отнесены к кремнийподобным пленкам, диэлектрикам и пленкам с промежуточным типом проводимости. Предложена модель структуры SiO$_{x}$, расчет которой из первых принципов (ab initio) описывает экспериментальные оптические спектры. Из первых принципов рассчитаны зависимости величины показателя преломления и ширины запрещенной зоны SiO$_{x}$ от параметра стехиометрии $x$.
Ключевые слова:
оксид кремния, оптические свойства, эллипсометрия, моделирование ab initio.
Поступила в редакцию: 08.05.2019 Исправленный вариант: 08.05.2019 Принята в печать: 23.07.2019
Образец цитирования:
В. Н. Кручинин, Т. В. Перевалов, Г. Н. Камаев, С. В. Рыхлицкий, В. А. Гриценко, “Оптические свойства нестехиометрического оксида кремния SiO$_{x}$ ($x<$ 2)”, Оптика и спектроскопия, 127:5 (2019), 769–773; Optics and Spectroscopy, 127:5 (2019), 836–840
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os550 https://www.mathnet.ru/rus/os/v127/i5/p769
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 22 |
|