|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Оптика поверхностей и границ раздела
Инварианты коэффициента отражения
Л. А. Федюхинa, А. В. Горчаковb, Е. А. Колосовскийa a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет
Аннотация:
Детально проанализирован коэффициент отражения плоской монохроматической волны, линейно поляризованной в плоскости падения, от трехслойной структуры. Решена обратная задача эллипсометрии для трехслойной структуры. Показано существование двух инвариантов коэффициента отражения для плоскопараллельной пластины. Предложен набор трех измеряемых параметров, не используемых ранее, позволяющий восстановить материальные параметры слоя. Получены аналитические выражения как для коэффициента отражения и углов падения для ряда важных частных случаев, так и для прямого расчета диэлектрической проницаемости и толщины слоя по измеренным значениям наблюдаемых параметров.
Ключевые слова:
инвариант коэффициента отражения, обратная задача эллипсометрии, угол Брюстера, тонкие пленки.
Поступила в редакцию: 21.06.2019 Исправленный вариант: 24.10.2019 Принята в печать: 01.11.2019
Образец цитирования:
Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Е. А. Колосовский, “Инварианты коэффициента отражения”, Оптика и спектроскопия, 128:2 (2020), 266–271; Optics and Spectroscopy, 128:2 (2020), 257–263
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os481 https://www.mathnet.ru/rus/os/v128/i2/p266
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 39 | PDF полного текста: | 9 |
|