Оптика и спектроскопия
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Оптика и спектроскопия:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Оптика и спектроскопия, 2020, том 128, выпуск 2, страницы 266–271
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2020.02.48975.219-19 (Mi os481) 		 
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Оптика поверхностей и границ раздела

Инварианты коэффициента отражения

Л. А. Федюхинa, А. В. Горчаковb, Е. А. Колосовскийa

a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет
PDF полного текста (467 kB) Список цитирования (3)
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2020.02.48975.219-19
Аннотация: Детально проанализирован коэффициент отражения плоской монохроматической волны, линейно поляризованной в плоскости падения, от трехслойной структуры. Решена обратная задача эллипсометрии для трехслойной структуры. Показано существование двух инвариантов коэффициента отражения для плоскопараллельной пластины. Предложен набор трех измеряемых параметров, не используемых ранее, позволяющий восстановить материальные параметры слоя. Получены аналитические выражения как для коэффициента отражения и углов падения для ряда важных частных случаев, так и для прямого расчета диэлектрической проницаемости и толщины слоя по измеренным значениям наблюдаемых параметров.
Ключевые слова: инвариант коэффициента отражения, обратная задача эллипсометрии, угол Брюстера, тонкие пленки.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации RFMEFI58117X0026
Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, проект № RFMEFI58117X0026.
Поступила в редакцию: 21.06.2019
Исправленный вариант: 24.10.2019
Принята в печать: 01.11.2019
Англоязычная версия:
Optics and Spectroscopy, 2020, Volume 128, Issue 2, Pages 257–263
DOI: https://doi.org/10.1134/S0030400X20020095
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. А. Федюхин, А. В. Горчаков, Е. А. Колосовский, “Инварианты коэффициента отражения”, Оптика и спектроскопия, 128:2 (2020), 266–271; Optics and Spectroscopy, 128:2 (2020), 257–263
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FedGorKol20}
\by Л.~А.~Федюхин, А.~В.~Горчаков, Е.~А.~Колосовский
\paper Инварианты коэффициента отражения
\jour Оптика и спектроскопия
\yr 2020
\vol 128
\issue 2
\pages 266--271
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/os481}
\crossref{https://doi.org/10.21883/OS.2020.02.48975.219-19}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=42744864}
\transl
\jour Optics and Spectroscopy
\yr 2020
\vol 128
\issue 2
\pages 257--263
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0030400X20020095}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/os481
  • https://www.mathnet.ru/rus/os/v128/i2/p266
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Оптика и спектроскопия Оптика и спектроскопия
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:49
    PDF полного текста:11
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024