Спектральные и рентгеновские исследования пленок оксида индия на сапфировых подложках

Представлены результаты исследования спектров оптического пропускания и рентгеновской дифракции тонких пленок In$_{2}$O$_{3}$, полученных методом DC-магнетронного распыления на подложках Al$_{2}$O$_{3}$ (012). В дифрактограммах присутствует рефлекс, соответствующий плоскости (222) кубического In$_{2}$O$_{3}$. Его положение смещается с 30.3 к 30.6$^\circ$ при уменьшении толщины пленки. Полуширина этого рефлекса убывает с уменьшением времени напыления, что может указывать на увеличение размера зерен материала пленки. Согласно измерениям оптического пропускания, на границе раздела между пленкой и подложкой было установлено наличие переходного слоя с шириной запрещенной зоны 1.39 eV и толщиной около 40 nm. Свойства этого слоя не зависят от времени напыления.