|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
Спектроскопия конденсированного состояния
Оптические свойства тонких пленок SiO$_{x}$ $(x<2)$, полученных обработкой термического диоксида кремния в водородной плазме
В. Н. Кручининa, Т. В. Переваловba, В. Ш. Алиевac, Р. М. Х. Исхакзайa, Е. В. Спесивцевa, В. А. Гриценкоab, В. А. Пустоваровd a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
b Новосибирский государственный университет
c Новосибирский государственный технический университет
d Уральский федеральный университет, г. Екатеринбург
Аннотация:
Методами эллипсометрии, квантово-химического моделирования и фотолюминесцентной спектроскопии проведено исследование оптических свойств и состава тонких плeнок термического оксида кремния, обработанных в водородной плазме электрон-циклотронного резонанса. Установлено, что обработка плeнок в плазме приводит к их обеднению кислородом и образованию нестехиометрического оксида SiO$_{x<2}$. Путeм сопоставления экспериментальной спектральной зависимости показателя преломления с теоретически рассчитанной из первых принципов определены значения параметра $x$ в полученных плeнках SiO$_{x}$. Показано, что увеличение времени обработки термического SiO$_{2}$ в водородной плазме приводит к увеличению показателя преломления плeнки, а также степени обеднения плeнки кислородом. Для исследуемых плeнок построена зависимость параметра $x$ от времени обработки в водородной плазме.
Ключевые слова:
оксид кремния, эллипсометрия, фотолюминесценция, квантово-химическое моделирование.
Поступила в редакцию: 23.01.2020 Исправленный вариант: 15.04.2020 Принята в печать: 23.06.2020
Образец цитирования:
В. Н. Кручинин, Т. В. Перевалов, В. Ш. Алиев, Р. М. Х. Исхакзай, Е. В. Спесивцев, В. А. Гриценко, В. А. Пустоваров, “Оптические свойства тонких пленок SiO$_{x}$ $(x<2)$, полученных обработкой термического диоксида кремния в водородной плазме”, Оптика и спектроскопия, 128:10 (2020), 1467–1472; Optics and Spectroscopy, 128:10 (2020), 1577–1582
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os277 https://www.mathnet.ru/rus/os/v128/i10/p1467
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 36 | PDF полного текста: | 4 |
|