|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Спектроскопия конденсированного состояния
Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te и определение состава соединения
В. А. Швецab, Д. В. Маринb, В. Г. Ремесникb, И. А. Азаровb, М. В. Якушевb, С. В. Рыхлицкийb a Новосибирский государственный университет
b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
Представлена параметрическая модель, описывающая спектры оптических постоянных $n(\lambda)$ и $k(\lambda)$ твердого раствора Hg$_{1-x}$Cd$_{х}$Te (КРТ) для значений $x$ в диапазоне от 0.2 до 0.4. Модель базируется на эмпирических данных, измеренных in situ в процессе эпитаксиального роста слоев твердого раствора. Рассмотрены варианты использования полученной модели для определения состава КРТ in situ в реальном времени. Предложена методика определения состава, основанная на спектральных эллипсометрических измерениях, которая обеспечивает погрешность не более $\delta x$ = $\pm$ 0.0035.
Ключевые слова:
кадмий-ртуть-теллур, состав соединения, эллипсометрия, спектры оптических констант, in situ контроль.
Поступила в редакцию: 27.12.2019 Исправленный вариант: 05.08.2020 Принята в печать: 14.08.2020
Образец цитирования:
В. А. Швец, Д. В. Марин, В. Г. Ремесник, И. А. Азаров, М. В. Якушев, С. В. Рыхлицкий, “Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te и определение состава соединения”, Оптика и спектроскопия, 128:12 (2020), 1815–1820; Optics and Spectroscopy, 128:12 (2020), 1948–1953
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os219 https://www.mathnet.ru/rus/os/v128/i12/p1815
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 46 | PDF полного текста: | 9 |
|