Оптика и спектроскопия
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Оптика и спектроскопия:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Оптика и спектроскопия, 2020, том 128, выпуск 12, страницы 1815–1820
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2020.12.50315.349-20
(Mi os219)
 

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Спектроскопия конденсированного состояния

Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te и определение состава соединения

В. А. Швецab, Д. В. Маринb, В. Г. Ремесникb, И. А. Азаровb, М. В. Якушевb, С. В. Рыхлицкийb

a Новосибирский государственный университет
b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация: Представлена параметрическая модель, описывающая спектры оптических постоянных $n(\lambda)$ и $k(\lambda)$ твердого раствора Hg$_{1-x}$Cd$_{х}$Te (КРТ) для значений $x$ в диапазоне от 0.2 до 0.4. Модель базируется на эмпирических данных, измеренных in situ в процессе эпитаксиального роста слоев твердого раствора. Рассмотрены варианты использования полученной модели для определения состава КРТ in situ в реальном времени. Предложена методика определения состава, основанная на спектральных эллипсометрических измерениях, которая обеспечивает погрешность не более $\delta x$ = $\pm$ 0.0035.
Ключевые слова: кадмий-ртуть-теллур, состав соединения, эллипсометрия, спектры оптических констант, in situ контроль.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 0306-2019-0004
Российский фонд фундаментальных исследований 19-29-20053
Работа выполнена при финансовой поддержке в рамках государственных заданий, полученных от Минобрнауки (Государственный контракт № 0306-2019-0004) и при частичной финансовой поддержке Российским фондом фундаментальных исследований (проект РФФИ № 19-29-20053).
Поступила в редакцию: 27.12.2019
Исправленный вариант: 05.08.2020
Принята в печать: 14.08.2020
Англоязычная версия:
Optics and Spectroscopy, 2020, Volume 128, Issue 12, Pages 1948–1953
DOI: https://doi.org/10.1134/S0030400X20121042
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: В. А. Швец, Д. В. Марин, В. Г. Ремесник, И. А. Азаров, М. В. Якушев, С. В. Рыхлицкий, “Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te и определение состава соединения”, Оптика и спектроскопия, 128:12 (2020), 1815–1820; Optics and Spectroscopy, 128:12 (2020), 1948–1953
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShvMarRem20}
\by В.~А.~Швец, Д.~В.~Марин, В.~Г.~Ремесник, И.~А.~Азаров, М.~В.~Якушев, С.~В.~Рыхлицкий
\paper Параметрическая модель спектров оптических постоянных Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te и определение состава соединения
\jour Оптика и спектроскопия
\yr 2020
\vol 128
\issue 12
\pages 1815--1820
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/os219}
\crossref{https://doi.org/10.21883/OS.2020.12.50315.349-20}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44866906}
\transl
\jour Optics and Spectroscopy
\yr 2020
\vol 128
\issue 12
\pages 1948--1953
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0030400X20121042}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/os219
  • https://www.mathnet.ru/rus/os/v128/i12/p1815
  • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Оптика и спектроскопия Оптика и спектроскопия
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:46
    PDF полного текста:9
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024