|
Спектроскопия конденсированного состояния
Исследование температурной зависимости спектров оптических постоянных пленок Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии
В. А. Швецab, Д. В. Маринb, М. В. Якушевb, С. В. Рыхлицкийb a Новосибирский государственный университет
b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
На основе проведeнных in situ и ex situ эллипсометрических измерений найдены спектральные зависимости температурной чувствительности оптических постоянных Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te – $dn(\lambda)$ и $dk(\lambda)$ для серии образцов разного состава в диапазоне от 0.160 до 0.327. Эксперименты были проведены в процессе остывания выращенных образцов в вакуумной камере. Установлено, что полученные зависимости $dn$ и $dk$ хорошо аппроксимируются суммой трeх осцилляторов Лоренца с добавлением дисперсионных слагаемых формулы Коши. Предложена параметрическая модель, которая описывает чувствительности $dn(\lambda)$ и $dk(\lambda)$ для произвольного состава $x$ в указанном диапазоне вблизи температуры роста. Проведенные ex situ температурные измерения вблизи комнатной температуры коррелируют с данными высокотемпературных измерений. Полученные результаты актуальны для разработки эллипсометрических методов контроля in situ процессов роста слоeв Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te.
Ключевые слова:
кадмий-ртуть-теллур, эллипсометрия, спектры оптических констант, температурная чувствительность, молекулярно-лучевая эпитаксия.
Поступила в редакцию: 05.08.2020 Исправленный вариант: 09.09.2020 Принята в печать: 17.09.2020
Образец цитирования:
В. А. Швец, Д. В. Марин, М. В. Якушев, С. В. Рыхлицкий, “Исследование температурной зависимости спектров оптических постоянных пленок Hg$_{1-x}$Cd$_{x}$Te, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии”, Оптика и спектроскопия, 129:1 (2021), 33–40; Optics and Spectroscopy, 129:1 (2021), 29–36
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os204 https://www.mathnet.ru/rus/os/v129/i1/p33
|
|