|
Спектроскопия конденсированного состояния
Совместный анализ спектров катодолюминесценции и электролюминесценции слоев Si–SiO$_{2}$ на кремнии
А. П. Барабан, В. А. Дмитриев, И. Е. Габис, Ю. В. Петров, В. А. Прокофьев Санкт-Петербургский государственный университет
Аннотация:
Показана возможность получения дополнительной информации о свойствах центров люминесценции при совместном анализе спектров электролюминесценции и катодолюминесценции структур Si–SiO$_{2}$ в спектральном диапазоне 250–800 nm. Показано, что концентрация центров люминесценции, ответственных за полосу 2.2 eV, не зависит от конечной толщины окисного слоя при равномерном распределении центров по толщине SiO$_{2}$. Установлено, что ответственные за полосу 4.2 eV центры люминесценции характеризуются неоднородным распределением с преимущественным формированием во внешней части окисного слоя ($\sim$30 nm) в количестве, пропорциональном корню квадратному от времени термического окисления, что позволяет связать их образование с процессом диффузии компонентов окислителя.
Ключевые слова:
катодолюминесценция, электролюминесценция, спектральное распределение, центры люминесценции.
Поступила в редакцию: 30.06.2021 Исправленный вариант: 15.08.2021 Принята в печать: 17.08.2021
Образец цитирования:
А. П. Барабан, В. А. Дмитриев, И. Е. Габис, Ю. В. Петров, В. А. Прокофьев, “Совместный анализ спектров катодолюминесценции и электролюминесценции слоев Si–SiO$_{2}$ на кремнии”, Оптика и спектроскопия, 129:12 (2021), 1526–1530; Optics and Spectroscopy, 130:4 (2022), 239–243
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/os12 https://www.mathnet.ru/rus/os/v129/i12/p1526
|
|