Оптика и спектроскопия
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Оптика и спектроскопия:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Оптика и спектроскопия, 2018, том 124, выпуск 5, страницы 695–699
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2018.05.45955.315-17 (Mi os1013) 		 
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Физическая оптика

Спектральные характеристики отражения микромассивов кремниевых нанопилларов

Л. С. Басалаеваa, Ю. В. Настаушевa, Ф. Н. Дульцевab, Н. В. Крыжановскаяc, Э. И. Моисеевc

a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова Сибирского отделения РАН, 630090 Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
c Федеральное государственное бюджетное учреждение высшего образования и науки "Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет Российской академии наук", 194021 Санкт-Петербург, Россия
Список цитирования (1)
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2018.05.45955.315-17
Аннотация: Проведено исследование спектральных характеристик отражения оптического излучения микромассивами кремниевых нанопилларов в видимом и ближнем ИК диапазоне. Микромассивы кремниевых нанопилларов формируются посредством электронно-лучевой литографии и реактивного ионного травления. Измерены спектры отражения микромассивов с периодом нанопилларов в массиве 400, 600, 800 и 1000 nm. Высота нанопилларов в массиве 0.5 $\mu$m, а диаметр варьировался от 150 до 240 nm. Отмечено, что спектральные особенности отражения обусловлены усилением поглощения отдельными нанопилларами и интерференционными явлениями, возникающими внутри массива. Установлена связь между геометрическими параметрами нанопилларов и особенностями резонансного отражения с учетом влияния подложки.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 17-42-543293
16-32-00269 мол_а
Российский научный фонд 14-22-00143
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации 3.9787.2017/8.9
Исследование выполнено при финансовой поддержке РФФИ и Правительства Новосибирской области в рамках научного проекта № 17-42-543293. Эксперименты по измерению оптических характеристик выполнены при финансовой поддержке РФФИ в рамках научного проекта № 16-32-00269 мол_а. Работы по формированию кремниевых нанопилларов частично финансировались за счет гранта Российского научного фонда (проект № 14-22-00143). Использовалось оборудование ЦКП “НАНОСТРУКТУРЫ”. Работа выполнена при поддержке Минобрнауки РФ (проект 3.9787.2017/8.9).
Поступила в редакцию: 22.12.2017
Англоязычная версия:
Optics and Spectroscopy, 2018, Volume 124, Issue 5, Pages 730–734
DOI: https://doi.org/10.1134/S0030400X1805003X
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Л. С. Басалаева, Ю. В. Настаушев, Ф. Н. Дульцев, Н. В. Крыжановская, Э. И. Моисеев, “Спектральные характеристики отражения микромассивов кремниевых нанопилларов”, Оптика и спектроскопия, 124:5 (2018), 695–699; Optics and Spectroscopy, 124:5 (2018), 730–734
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BasNasDul18}
\by Л.~С.~Басалаева, Ю.~В.~Настаушев, Ф.~Н.~Дульцев, Н.~В.~Крыжановская, Э.~И.~Моисеев
\paper Спектральные характеристики отражения микромассивов кремниевых нанопилларов
\jour Оптика и спектроскопия
\yr 2018
\vol 124
\issue 5
\pages 695--699
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/os1013}
\crossref{https://doi.org/10.21883/OS.2018.05.45955.315-17}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=32740182}
\transl
\jour Optics and Spectroscopy
\yr 2018
\vol 124
\issue 5
\pages 730--734
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0030400X1805003X}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/os1013
  • https://www.mathnet.ru/rus/os/v124/i5/p695
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Оптика и спектроскопия Оптика и спектроскопия
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:25
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024