Оптика и спектроскопия
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Оптика и спектроскопия:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Оптика и спектроскопия, 2021, том 129, выпуск 7, страницы 889–898
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2021.07.51080.1847-21 (Mi os100) 		 
Физическая оптика

Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта

А. Б. Сотскийa, Е. А. Чудаковa, Л. И. Сотскаяb

a Могилевский государственный университет им. А. А. Кулешова
b Белорусско-Российский университет, Могилев, Республика Беларусь
PDF полного текста (996 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/OS.2021.07.51080.1847-21
Аннотация: Сформулированы интегральные уравнения Фредгольма второго рода, описывающие поля волн ТЕ- и ТМ-поляризации в металлических пленках с учетом аномального скин-эффекта. Уравнения допускают численное решение методом квадратур. Исследованы электрические поля в золотых и алюминиевых пленках, расположенных на кремниевой подложке, и угловые зависимости поляризационных углов отраженного от пленок света. Установлено, что для решения обратной задачи многоугловой эллипсометрии металлических пленок с использованием приближения нормального скин-эффекта характерна нестабильность восстановленного комплексного показателя преломления металла при изменении толщины металлической пленки.
Ключевые слова: металлическая пленка, аномальный скин-эффект, интегральные уравнения, многоугловая эллипсометрия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Государственная научная программа Республики Беларусь 1.15
Работа выполнена при финансовой поддержке Государственной программы научных исследований Республики Беларусь 1.15 “Фотоника и электроника для инноваций”.
Поступила в редакцию: 26.02.2021
Исправленный вариант: 28.02.2021
Принята в печать: 19.03.2021
Англоязычная версия:
Optics and Spectroscopy, 2021, Volume 129, Issue 9, Pages 1023–1032
DOI: https://doi.org/10.1134/S0030400X21070195
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Б. Сотский, Е. А. Чудаков, Л. И. Сотская, “Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта”, Оптика и спектроскопия, 129:7 (2021), 889–898; Optics and Spectroscopy, 129:9 (2021), 1023–1032
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SotChuSot21}
\by А.~Б.~Сотский, Е.~А.~Чудаков, Л.~И.~Сотская
\paper Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта
\jour Оптика и спектроскопия
\yr 2021
\vol 129
\issue 7
\pages 889--898
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/os100}
\crossref{https://doi.org/10.21883/OS.2021.07.51080.1847-21}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=46489897}
\transl
\jour Optics and Spectroscopy
\yr 2021
\vol 129
\issue 9
\pages 1023--1032
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0030400X21070195}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/os100
  • https://www.mathnet.ru/rus/os/v129/i7/p889
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Оптика и спектроскопия Оптика и спектроскопия
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:64
    PDF полного текста:14
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024