|
Программное обеспечение вычислительных, телекоммуникационных и управляющих систем
Расчет функции рассеяния точки с учетом двулучепреломления и частичной когерентности освещения с использованием графических процессоров
Е. А. Никулина Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Аннотация:
Рассмотрено применение метода представления комплексной амплитуды через суперпозицию плоских волн для учета влияния двулучепреломления в фотолитографических системах. Изображение в проходящем свете при частично когерентном освещении проводится по методу интегрирования по источнику. Показана вычислительная сложность предложенной методики, а также отмечены преимущества использования графических процессоров для решения такого рода задач. Описаны особенности использования графических процессоров для решения неграфических задач. Приведены оценки временных затрат при расчете по описанной методике с применением как графических, так и традиционных процессоров. Показаны результаты моделирования функции рассеяния точки в различных условиях.
Ключевые слова:
двулучепреломление, поляризация, функция рассеяния точки, параллельные вычисления, CUDA.
Образец цитирования:
Е. А. Никулина, “Расчет функции рассеяния точки с учетом двулучепреломления и частичной когерентности освещения с использованием графических процессоров”, Научно-технические ведомости СПбГПУ. Информатика. Телекоммуникации. Управление, 2015, № 5(229), 33–38
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ntitu123 https://www.mathnet.ru/rus/ntitu/y2015/i5/p33
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 109 | PDF полного текста: | 33 |
|