Оценка плотности тока электронного пучка по кривым набегания с учетом рассеяния в диафрагме

В работе построена математическая модель взаимодействия электронного пучка с краем ножевой диафрагмы, учитывающая рассеяние и поглощение электронов в материале диафрагмы. Модель используется для оценки распределения плотности тока пучка по кривым набегания методами теории измерительно-вычислительных систем (ИВС) [2–4]. Показано, что стандартная модель, не учитывающая рассеяние электронов в мишени, не позволяет получить адекватную оценку диаметра пучка и плотности тока.